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| 夜間の緊急報道や、科学番組で夜行性動物を撮影するなど、ハイビジョンの多様な番組制作に対応するため、より高感度で小型のカメラが求められています。そこで、超高感度小型カメラの実現に向けて、次世代の撮像デバイス「冷陰極HARP*撮像板」の開発を進めています。 |
冷陰極HARP撮像板は、電圧を加えるだけで電子を放出する冷陰極を平面上に多数並べた冷陰極アレーと、高感度なHARP膜とを向かい合わせた構造の小型撮像デバイスです。HARP膜に形成された電荷を、冷陰極アレーから次々に放出した電子ビームで読み出すことで、映像信号を得ることができます。
- 超高感度 :撮像管用に開発された超高感度HARP膜をそのまま適用できます。
- 超高精細 :冷陰極アレーはIC加工技術で作製され、微細・高集積化が可能です。
- 低消費電力 :冷陰極は加熱する必要がなく、低電圧で電子ビームを放出します。
今回、基礎実験用として画素面積を従来の1/3以下(50μm×50μm)にした1インチ256×192画素撮像板と、新たに永久磁石を用いた電子ビーム集束系を開発しました。この撮像板では、電子ビームを集束することで解像度を向上させることができ、今後の高精細化の見通しを得ることができました。
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画素をより小さくして画素数を増やすとともに、電子ビーム集束系などの性能改善を図ることで、撮像板の早期実用化を目指します。
本研究は、双葉電子工業(株)と共同で進めています。
* HARP(High-gain Avalanche Rushing amorphous Photoconductor)
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