別紙

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冷陰極HARP撮像板の基本構造・動作原理

○　構造
　冷陰極HARP撮像板は、基本的に冷陰極アレイとHARP膜とを対向配置したものです。
　冷陰極アレイは、電圧を印加することで電子を放出する微小（1mmの1／1000以下）な冷陰極を平面上に多数並べたもので、IC加工技術等を利用して作製されます。
　また、HARP膜は入射した光を電荷に変換すると同時に、電子のなだれ増倍作用でその電荷を増やすために、極めて高い感度が得られます。

○　動作原理
　画素に相当する冷陰極アレイの"セル"（複数の冷陰極で構成）から順次、電子ビームを放射することで、撮像管と同様な走査の機能を実現しています。この電子ビームでHARP膜の電荷を読み出すことで、映像信号を得ることができます。

撮像板の基本構造